| 品牌豪奇自动化 | |
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身份验证|
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- 经营模式|未填写
- 注册资本|未填写
- 企业类型|企业单位 ()
- 主营产品| 安川品牌的变频器、伺服电机、控制器、机器人、各类系统工程设备、附件等
- 公司地址|上海市闵行区纪鹤路2号
产品分类
本页信息为上海豪奇自动化设备有限公司为您提供的"SEMISTAR-MR124"产品信息，如您想了解更多关于"SEMISTAR-MR124"价格、型号、厂家请联系厂家，或给厂家留言。
第4年
- 企业等级：金牌会员
- 经营模式：
- 所在地区：上海
- 联系卖家：陈经理 先生
- 手机号码：13621623947
- 联系电话：021-64930075
半导体晶片搬运用机器人
负载：-
动态范围：1215mm
控制柜：SR100
用途：搬运、半导体
特点
l 大动作范围：EFEM模块移动距离可达4套应用
设备，无需使用底架，极大地提高了搬运效率。
l 高速搬运：300枚/小时
l 适用：300mm-450mm晶片搬运
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项目 |
规格 |
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机械臂 |
适用晶体尺寸 |
300mm(450m)*1 |
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晶体把持方式 |
真空吸附夹具或边缘夹具 |
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标准边缘效应器长*2 |
对应345mm＠300mm的晶体 |
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驱动轴数 |
5轴 |
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手臂类型 |
单臂 |
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动作范围 |
R轴伸缩*3 |
1215mm |
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θ轴回旋 |
330° |
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Z轴升降 |
480mm |
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B轴回转 |
440° |
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最小回转半径*2 |
510mm |
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最快速度*2 |
伸缩 |
260°/s |
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回旋 |
330°/s |
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升降 |
550mm/s |
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B轴回转 |
350°/s |
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线性 |
2000mm/s |
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重复定位精度*2 |
0.1mm(P-P) |
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质量 |
66kg |
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位置调整器 |
适用晶体尺寸 |
300mm |
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晶体把持方式 |
真空吸附夹具 |
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检出对象 |
凹槽 |
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晶体材质 |
珪素*4 |
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晶体边缘检出传感器 |
LED + CCD线性传感器 |
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动作范围 |
回旋 |
无限制 |
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最快速度(加速/减速时间) |
回旋 |
1000°/s(0.1s/0.1s) |
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LINEMENT精度 |
±0.03° |
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LINEMENT时间 |
1.7秒以下 |
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质量 |
5.8kg |
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设置环境 |
洁净等级*5 |
ISO等级1 |
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使用温度·湿度 |
20～30℃,35～55%RH(不结露) |
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保管温度·湿度 |
0～40℃,35～80%RH(不结露) |
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标高 |
表高1000m以下 |
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环境 |
无爆炸性，腐蚀性，可燃性气体 |
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MCBF |
1500次循环以上 |
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*1：本公司标准终端效应器(300mm:边缘把持/真空吸着,450mm:真空吸)
*2：300mm晶体(SEMI规格标准品),当使用本公司标准300mm对应终端校准器时
*3：机械臂回旋中心位置～晶体中心位置(本公司标准300mm对应终端效应器时)
*4：根据SEMI规格为基准的晶体规格。特殊石英晶体请与我司联系。石英晶体也可对应（有
业绩）。但是根据石英规格，本公司需要进行评价和调整。
*5：在0.3m/s的流量下，机械臂进行真空吸附
供应商信息
安川YASKAWA是闻名的传动产品制造商。随着中国改革开放和经济发展的不断深入，众多世界知名公司纷纷落户上海，并迅速拓展其业务。安川电机（中国）有限公司正是顺应这一时代潮流，把日本安川电机先进的产品带入中...
| 主营产品或服务 | 安川品牌的变频器、伺服电机、控制器、机器人、各类系统工程设备、附件等 | 经营模式 | |
|---|---|---|---|
| 注册资本 | 未填写 | 公司注册时间 | 2014 |
| 公司所在地 | 上海 | 企业类型 | 企业单位 () |
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